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1.激光干涉儀的發(fā)展史做衣量身、體檢量高都由尺子完成，這些日常的尺子的刻度是毫米。機械零件加工和檢驗都要用尺子，在機械制造企業(yè)，卡尺、千分尺隨處可見，其精確度是10 μm，1 μm。1887年邁克爾遜（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]:是否存在，使用了光。他們以光波長作尺子刻度測…[詳情]

1、重復(fù)定位精度測量原理重復(fù)定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個角錐反射鏡…[詳情]

1、平面度 平面測量是在角度測量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個平臺的平面度。 [詳情]

1、角度測量原理 角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實現(xiàn)±1…[詳情]

鐳測科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測量技術(shù)，技術(shù)指標(biāo)達到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)的高效率量測工具。 系統(tǒng)組成…[詳情]

1、直線度測量原理 雙頻激光測頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進行干涉測量。通過檢測光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對于激…[詳情]

1、垂直度測量原理 垂直度測量的主要采用同一個測量基準(zhǔn)軸對兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)中的每一個軸測量直線度。對兩個直線度測量值進行比較，算出兩個軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調(diào)整。兩次直線度測量過程中至少一…[詳情]

1、平行度測量原理 平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個正交平面內(nèi)沿每個要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]